[实用新型]钢带形变检测装置有效
申请号: | 200920214238.9 | 申请日: | 2009-11-26 |
公开(公告)号: | CN201611250U | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 王松;左小文 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01B7/24 | 分类号: | G01B7/24;C25D7/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种钢带形变检测装置,所述钢带上设置有用于承托该钢带的支撑轮机构,所述支撑轮机构包括设置于钢带上方的横梁、与横梁固定连接的第一支座以及与横梁转动连接的第二支座,所述钢带形变检测装置包括:与第一支座连接的第一臂;与第二支座连接的第二臂,所述第二臂与第一臂彼此倾斜;横跨设置于第一臂和第二臂上方且与第二臂连接的感应片;以及安装于第一臂上的检测元件;其中,检测元件通过探测感应片的位置,来判断第二臂是否摆动,进而判断钢带是否发生形变。所述钢带形变检测装置可及时有效的判断钢带是否发生形变,增强了电镀设备的稳定性,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 形变 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种钢带形变检测装置,所述钢带上设置有用于承托该钢带的支撑轮机构,所述支撑轮机构包括设置于所述钢带上方的横梁、与所述横梁固定连接的第一支座以及与所述横梁转动连接的第二支座,其特征在于,包括:与所述第一支座连接的第一臂;与所述第二支座连接的第二臂,所述第二臂与所述第一臂彼此倾斜;横跨设置于所述第一臂和第二臂上方且与所述第二臂连接的感应片;安装于所述第一臂上并与所述感应片匹配的检测元件;其中,所述检测元件通过探测所述感应片的位置,来判断所述第二臂是否摆动,进而判断所述钢带是否发生形变。
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