[实用新型]化学机械抛光用运载器安全装置无效
| 申请号： | 200920217253.9 | 申请日： | 2009-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201573109U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈威;柳滨;李伟;郭强生 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的目的是提供一种化学机械抛光用运载器安全装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有可固定于运载器上的座体，该座体上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。当运载器与运载器法兰直接采用真空固定时，本实用新型起到运载器不会从运载器法兰滑落的安全作用，其结构简单紧凑，能满足生产要求，构思精巧，布局合理，工作稳定可靠，便于维护，使用寿命较长。特别适用于运载器与运载器法兰采用真空连接的这类CMP设备以及其它具有与化学机械抛光(CMP)相似工艺要求的半导体设备上。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 运载 安全装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于具有可固定于运载器(1)上的座体(3)，该座体(3)上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所，未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920217253.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
