[实用新型]多晶硅还原炉有效
申请号: | 200920230836.5 | 申请日: | 2009-09-08 |
公开(公告)号: | CN201473329U | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 朱青松;蒋文武;王存惠 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉体,设置在炉体下方的底盘,设置在底盘上的电极和与电极对应安装的硅芯,设置在底盘下方的进气管和出气管,进气管与安装在底盘上的喷口连通,出气管与安装在底盘上的尾气出口连通,炉体内设有夹套,夹套分别与炉体冷却水进水管和炉体冷却水出水管相连通,底盘上设有底盘冷却水进水管和底盘冷却水出水管,其特征在于所述电极为48对,即96个,均匀分布在底盘上。本实用新型的多晶硅还原炉通过对底盘上的电极、喷口数量和分布的改进,使得每批次产量较现有的还原炉有大幅度的提升,每公斤多晶硅的电耗相应降低,多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,包括炉体(1),设置在炉体(1)下方的底盘(3),设置在底盘(3)上的电极(12)和与电极(12)对应安装的硅芯(13),设置在底盘(3)下方的进气管(6)和出气管(8),进气管(6)与安装在底盘(3)上的喷口(7)连通,出气管(8)与安装在底盘(3)上的尾气出口(15)连通,炉体(1)内设有夹套,夹套分别与炉体冷却水进水管(9)和炉体冷却水出水管(10)相连通,底盘(3)上设有底盘冷却水进水管(4)和底盘冷却水出水管(5),其特征在于所述电极(12)为48对,即96个,均匀分布在底盘(3)上。
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