[实用新型]一种上置式多晶硅炉无效
申请号: | 200920232988.9 | 申请日: | 2009-07-27 |
公开(公告)号: | CN201473325U | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 文林;孔令来;范钦满;王泽平;管文礼 | 申请(专利权)人: | 管悦 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 王彦明 |
地址: | 222000 江苏省连云*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种上置式多晶硅炉,设有炉体,炉体内设有保温笼,装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上,在保温笼内设有上加热器和下加热器,在炉体的顶部设有上炉门,上炉门的一侧与一个旋转轴固定,旋转轴与设在炉体侧壁上的升降装置连接,在上炉门的另一侧设有导向杆,相应的在炉体侧壁上设有与导向杆配合的导向孔。采用上置式炉单臂门结构,上炉门打开后,可以通过手动或机械驱动使上炉门从炉口旋转移开,具有结构简单,易操作,安全性好的特点,适用于大规模生产,填补了国内空白。 | ||
搜索关键词: | 一种 上置式 多晶 | ||
【主权项】:
一种上置式多晶硅炉,设有炉体,炉体内设有保温笼,装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上,在保温笼内设有上加热器和下加热器,其特征在于:在炉体的顶部设有上炉门,上炉门的一侧与一个旋转轴固定,旋转轴与设在炉体侧壁上的升降装置连接,在上炉门的另一侧设有导向杆,相应的在炉体侧壁上设有与导向杆配合的导向孔。
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