[实用新型]电子式铝线键合机焊头压力测量装置无效
| 申请号： | 200920234811.2 | 申请日： | 2009-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN201522345U | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 季达 | 申请（专利权）人： | 南通华达微电子集团有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，包括底座，底座上装传动器固定架，传动器固定架上装力传感器，力传感器上设有接力块。本实用新型结构合理，提高了U3000系列铝线键合机的计量校对工作速度，可以做到边调边看压力变化，改变了用克力计校对时调一次看一次的校对方法。提高了U3000系列铝线键合机的计量校对精度(电子式测量误差＜0.5％，克力计测量误差2％)。能借助示波器观测到焊头压力变化曲线和超声功率变化曲线，进行设备间性能对比分析。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 式铝线键合机焊头 压力 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，其特征是：包括底座，底座上装传动器固定架，传动器固定架上装力传感器，力传感器上设有接力块。
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