[实用新型]PECVD用硅片载片器的改装装置

摘要

本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的改装装置，其包括十字形的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。本实用新型安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形的硅片载片器，用于生产单晶硅片，可以节省大量采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产多晶硅片，转换方便。

主权项

一种PECVD用硅片载片器的改装装置，包括板体(3)，其特征是：所述板体(3)的角部以板体(3)的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂(10)，使所述板体(3)成十字形，各个相邻的支臂(4)的交叉处设置有过渡圆弧(5)，所述支臂(4)的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧(5)的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。