[实用新型]大幅面导电基板粗线路直写装置无效
| 申请号： | 200920234867.8 | 申请日： | 2009-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN201497852U | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 文谏;黄良杰;李春宝;高委;严翠萍 | 申请（专利权）人： | 杨飞 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215011 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大幅面导电基板粗线路直写装置，包括控制器、作业平台、待直写的导电基板、激光发射器及设定在激光光路上的振镜单元，其特征在于：该作业平台为静止，且振镜单元多于一个，构成作业平台上方的多振镜阵列。由控制器驱动多振镜阵列，控制激光光路的焦点沿刻蚀方向以一定的速度移动，通过机械结构相对固定的多振镜阵列实现对导电基板全幅面的线路分图直写，为在大幅面导电基板上快速、精确地直写制备线宽大于30μm的粗线路提供了一种切实可行的工艺途径。本实用新型具有布线成本低、最小线宽和最小线距可达30μm、加工幅面大、加工速度快、定位及重复直写性能高的特殊效果。 | ||
| 搜索关键词： | 大幅面 导电 基板粗 线路 装置 | ||
【主权项】：
大幅面导电基板粗线路直写装置，包括控制器、作业平台、置于作业平台上的导电基板、悬浮装载在作业平台上空的激光发射器，以及设定在激光光路上的振镜单元，其特征在于：所述作业平台为静止，所述振镜单元多于一个，相互独立地构成作业平台上方的多振镜阵列；各振镜单元分别与控制器信号相连。
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