[实用新型]一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置无效
| 申请号： | 200920241495.1 | 申请日： | 2009-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN201620206U | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 段兴凯;江跃珍;胡孔刚 | 申请（专利权）人： | 九江学院 |
| 主分类号： | C30B23/06 | 分类号： | C30B23/06;C30B29/68 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置，其结构为：衬底装置由调速电动机，衬底支架，加热器，衬底，石英晶体振荡监厚仪，挡板和热电偶组成，调速电动机与衬底支架连接，衬底安装在衬底支架的下面，衬底支架位于真空腔体内，调速电动机带动衬底支架和衬底旋转，加热器用于加热衬底，热电偶用来测量衬底的温度。本实用新型采用闪蒸法结合双路交替送粉器来实现超晶格热电薄膜材料的制备，具有高效节能、成本低、工艺简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 晶格 热电 薄膜 材料 闪蒸 装置 | ||
【主权项】：
一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置，其特征在于：衬底装置由调速电动机(1)、衬底支架(2)、加热器(3)、衬底(4)、石英晶体振荡监厚仪(5)、挡板(6)和热电偶(21)组成，调速电动机(1)与衬底支架(2)连接，衬底安装在衬底支架(2)的下面，衬底支架(2)位于真空腔体(16)内，加热器(3)位于衬底(4)的上面，热电偶(21)用来测量衬底(4)的温度，送粉器由盛粉容器(7)、石英管(8)和时间继电器(9)组成，送粉器固定在真空腔体(16)内壁上，另一送粉器同样由时间继电器(18)、石英管(19)和盛粉容器(20)组成，固定在真空腔体(16)内壁上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于九江学院，未经九江学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920241495.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
