[实用新型]一种大量程高精度轮廓测量位移传感器

摘要

一种大量程高精度轮廓测量位移传感器，它涉及一种高精度轮廓测量位移传感器。针对电感式测量位移传感器测量范围小、精度低、线性误差大、温度漂移大、仪器残余轮廓大问题方案。一、测针和防转杆固装在测杆上，测量杠杆与测杆固接，回转轴用轴承支承在主体上，轴承用压片压紧，支承法兰固定在主体上，第一回转轴调整螺钉拧在支承法兰上，回转轴和光栅尺固接在测量杠杆上，测力机构与测量杠杆和主体连接，测量杠杆上固装有零位支架，零位支架上固接有零位块，读数头紧固在主体上；方案二与一区别是：去掉压片、支承法兰和第一回转轴调整螺钉，轴承只用第二回转轴调整螺钉压紧。该传感器用于工件的轮廓尺寸、表面形状误差、表面波度及表面粗糙度的测量。

主权项

一种大量程高精度轮廓测量位移传感器，所述位移传感器由测杆组件、测量杠杆(3)、零位支架(21)、零位块(20)、光栅尺(18)、读数头(19)、连接板(22)、回转轴系、测力机构(30)、限位机构(29)、连接块(17)、罩(1)和前挡板(15)组成；所述测杆组件由测针(12)、测杆(13)和防转杆(11)组成；其特征在于：所述回转轴系由主体(5)、回转轴(8)、两个轴承(23)、两个压片(24)、两个支承法兰(26)和两个第一回转轴调整螺钉(25)组成；所述测针(12)和防转杆(11)均固装在测杆(13)上且靠近测杆(13)的两端设置，所述测量杠杆(3)的一端设有轴向中心孔，测杆(13)靠近防转杆(11)的一端紧固在测量杠杆(3)的轴向中心孔内，测量杠杆(3)的另一端设置在主体(5)的内腔中，主体(5)装在罩(1)内，所述前挡板(15)与主体(1)靠近防转杆(11)一端的端面可拆卸连接；设置在主体(5)的内腔中的测量杠杆(3)上设有回转轴孔，所述回转轴(8)穿过所述回转轴孔，回转轴(8)与测量杠杆(3)固接，与回转轴(8)相对应的主体(5)的两个侧壁上各设有一个沉孔，回转轴(8)的两端各通过一个轴承(23)支承在主体(5)上，轴承(23)设置在沉孔的小直径孔内，每个轴承(23)的外环通过设置在沉孔的小直径孔内的一个压片(24)轴向压紧，每个沉孔内装有一个与主体(5)固接的支承法兰(26)，支承法兰(26)上设有中心螺纹孔，第一回转轴调整螺钉(25)与支承法兰(26)的中心螺纹孔螺纹连接，第一回转轴调整螺钉(25)的端面压在压片(24)上，测量杠杆(3)的另一端上固装有零位支架(21)，所述零位块(20)固装在零位支架(21)上，测量杠杆(3)的另一端端面为向外突出的圆弧面(31)，所述圆弧面(31)的圆心与测量杠杆(3)上的回转轴孔的中心同心，所述光栅尺(18)固装在圆弧面(31)上，零位块(20)与读数头(19)的零位相对应设置，所述读数头(19)通过连接板(22)紧固在主体(5)上，读数头(19)与光栅尺(18)的位置相对应设置，测针(12)的尖点与回转轴(8)的轴心及光栅尺(18)的零位在一条直线上，限位机构(29)固定在靠近防转杆(11)一端的主体(5)上，所述连接块(17)固定在主体(5)上，光栅尺(18)为金属光栅尺。