[实用新型]双向阻断晶闸管正反向对称P型径向变掺杂结构有效

专利信息
申请号: 200920245474.7 申请日: 2009-11-27
公开(公告)号: CN201655807U 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 王正鸣;高建峰;高山城;刘惠玲;刘东 申请(专利权)人: 西安电力电子技术研究所
主分类号: H01L29/74 分类号: H01L29/74;H01L29/36;H01L29/06;H01L21/332
代理公司: 西安文盛专利代理有限公司 61100 代理人: 彭冬英
地址: 710061 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型涉及一种双向阻断晶闸管正反向对称P型径向变掺杂结构,较高浓度P型掺杂层在低浓度P-型掺杂层上形成的高低结为非平行平面结,其结面产生弯曲变化避免较高浓度P型杂质进入双负角造型结终端区,本实用新型具有双面减薄P-区的作用,使特高压双向阻断硅晶闸管同时具有正反向阻断电压对称,长、短基区及阳极面P-区无附加厚度,电压片厚比最高的特点。适用于制造电压片厚比最高的双向阻断晶闸管。
搜索关键词: 双向 阻断 晶闸管 反向 对称 径向 掺杂 结构
【主权项】:
1.一种双向阻断晶闸管正反向对称P型径向变掺杂结构,包括N-型衬底(1)、正向阻断结(2)、反向阻断结(3),正、反向阻断结(2、3)两边分别设有低浓度P-型掺杂层(4、5)和较高浓度P型掺杂层(6、7),晶闸管沿径向分为金属欧姆接触层(8)以内的一般晶闸管体内区(9)及其以外的结终端区(10),其特征在于:低浓度P-型掺杂层(4、5)在N-型衬底(1)上形成的正、反向阻断结(2、3)为平行平面结,较高浓度P型掺杂层(6、7)浓度分布沿径向产生变化,在低浓度P-型掺杂层(4、5)上形成的高低结(11)为非平行平面结,其结面产生弯曲变化避免较高浓度P型杂质进入结终端区(10),结终端区(10)只有低浓度杂质。
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