[实用新型]一种动态配气仪有效
| 申请号： | 200920252545.6 | 申请日： | 2009-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN201543390U | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 窦灏;冯岱;丁万生 | 申请（专利权）人： | 窦灏 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司： | 山东济南齐鲁科技专利事务所有限公司 37108 | 代理人： | 王静毅 |
| 地址： | 266043 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种动态配气仪，包括连接标准气体入口和零气入口的三通阀，三通阀连接真空泵，标准气体入口、零气入口和三通阀连接的管道上分别有与大气相通的平衡压力口。连接标准气体入口、零气入口和三通阀管道上加设平衡压力口，使进入三通阀的标准气体、零气压力得到平衡，可以方便的精确控制配出气体成分比例。高频三通电磁阀的精度高，使动态配气仪的精度得到更好的保证。电路控制器按设定控制配气仪，实现自动化工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 配气仪 | ||
【主权项】：
一种动态配气仪，包括连接标准气体入口(1)和零气入口(3)的三通阀(5)，三通阀(5)连接真空泵(6)，其特征在于标准气体入口(1)、零气入口(3)和三通阀(5)连接的管道上分别有与大气相通的平衡压力口(2)。
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