[实用新型]应用于硅片化学机械抛光设备中的抛光头磁性夹紧装置无效
| 申请号： | 200920255030.1 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201573095U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 高文泉;陈威;廖垂鑫;陈波;柳滨 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/047;H01L21/302 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 杨钦祥 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于硅晶片化学机械抛光(CMP)设备中的抛光头与心轴的磁性夹紧装置，所述磁性夹紧装置包括磁铁、基座以及能够调整磁铁旋转角度的开关旋钮。使用的过程中，通过转动开关旋钮来调节磁性的开与关，从而实现抛光头与心轴的夹紧与松脱。当柱形磁铁的两极都处在同一块钢锭时，磁力线直接从这块钢锭内通过，基座因磁短路而对外不表现磁性；当柱形磁铁被旋转到另一角度后，该磁铁的两极分别处于基座两块钢锭上，磁力线就从整个基座导出来吸住心轴，该磁性夹紧装置就是通过这样的方式与实现抛光头与心轴定位、夹紧的，而且结构简单，安装和操作都很方便。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 硅片 化学 机械抛光 设备 中的 抛光 磁性 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于硅片化学机械抛光设备中的抛光头磁性夹紧装置，其特征在于包括圆柱形开关组件和基座，所述圆柱形开关组件由2块半圆柱形磁铁(102)、夹在2块半圆柱形磁铁(102)中间部位的用于分隔柱形磁铁(102)的隔磁块(105)以及设置在柱形磁铁(102)上的调节柱形磁铁(102)旋转角度的开关旋钮(101)组成，所述基座包括2个导磁块(103)和夹在2个导磁块(103)之间的隔磁板(104)，在2个导磁块(103)的对接面处设有与圆柱形磁性开关组件相适配的孔，在2个导磁块(103)上分别设有安装孔。
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