[实用新型]PECVD设备尾气处理装置

摘要

本实用新型公开了一种PECVD设备尾气处理装置，包括氮气进气管、通过节流阀与所述氮气进气管相连通的应急氮气管、旁路稀释氮气管及进气管稀释氮气管。所述的旁路稀释氮气管的进气端通过第二节流阀与氮气进气管相连通，所述的进气管稀释氮气管的进气端通过第三节流阀与氮气进气管相连通。与现有技术相比，由于将旁路稀释氮气和进气管氮气分开控制，使得旁路稀释氮气和进气管氮气的每根支管的氮气流量增加，避免了尾气进气管堵塞，并且无需花费大量时间拆卸清洗更换燃烧头，提高了设备可用率，大大降低了火花塞更换次数和燃烧头烧穿次数，节约了易耗品成本。

主权项

一种PECVD设备尾气处理装置，包括氮气进气管、通过节流阀与所述氮气进气管相连通的应急氮气管、旁路稀释氮气管及进气管稀释氮气管，其特征在于：所述的旁路稀释氮气管的进气端通过第二节流阀与氮气进气管相连通，所述的进气管稀释氮气管的进气端通过第三节流阀与氮气进气管相连通。