[实用新型]电感耦合等离子体光源的供气系统无效
| 申请号： | 200920256062.3 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN201576658U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 刘召贵;张树龙;夏义峰 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种电感耦合等离子体光源的供气系统，包括气源、等离子气供气支路、辅助气供气支路和载气供气支路，所述气源分别通过一质量流量控制器与所述离子气供气支路、辅助气供气支路、载气供气支路连接。在该方案中气源与供气支路之间通过质量流量控制器连接，质量流量控制器能够接收来自于主控制器的模拟电压信号，并根据该电压的大小对输出的流量进行控制，从而大大的提高了工作气体流量的调节与控制的精度以及自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 光源 供气 系统 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体光源的供气系统，包括气源、等离子气供气支路、辅助气供气支路和载气供气支路，其特征在于：所述气源分别通过一质量流量控制器与所述离子气供气支路、辅助气供气支路、载气供气支路连接。
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