[实用新型]一种镜面反射型真空度测量装置无效
申请号: | 200920258924.6 | 申请日: | 2009-11-17 |
公开(公告)号: | CN201555688U | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 刘保龙;王立岗;马新全;张西鑫;刘东;孙树萌;莫才勇 | 申请(专利权)人: | 刘保龙 |
主分类号: | G01L21/02 | 分类号: | G01L21/02 |
代理公司: | 济南圣达专利商标事务所有限公司 37221 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 250101 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种镜面反射型真空度测量装置,它包括一块圆形镜面向外的柔性镜面及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,刻度标尺固定在刚性密封圈上,激光束、反射光线和刻度标尺在同一平面上。当测量某一密闭空间内的真空度时,将装置放置其中,在气压差的作用下,该装置的柔性镜面变形改变反射光线的方向,指向不同的刻度,即可读出被测密闭空间的真空度。 | ||
搜索关键词: | 一种 反射 真空 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种镜面反射型真空度测量装置,其特征是,它包括一块圆形镜面向外的柔性镜面及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间,刻度标尺固定在刚性密封圈上,激光束、反射光线和刻度标尺在同一平面上。
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