[实用新型]软着陆扩散设备的炉门控制机构有效
| 申请号： | 200920259657.4 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN201605353U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 李克 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种软着陆扩散设备的炉门控制机构，包括总气路管道(1)和至少有一组气缸，每组气缸有三只气缸(7)；总气路管道(1)上装有一个压力检测开关(2)，该压力检测开关(2)的检测信号输出端同PC机的信号输入端连接；由所述PC机控制的通断电磁阀(5)的两端口分别同总气路管道(1)和中泻式三位五通换向阀(6)的气源进气端口相接；每个气缸(7)前装有一个ASP控制阀(8)，所述三位五通换向阀(6)的两出口分别分两路，一路相互串接在ASP控制阀的对方先导进气口上，另一路接ASP控制阀(8)的进气口。它可有效防止意外事件的发生，提升设备的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 软着陆 扩散 设备 炉门 控制 机构 | ||
【主权项】：
一种软着陆扩散设备的炉门控制机构，包括总气路管道(1)和至少有一组气缸，每组气缸有三只气缸(7)；其特征是，总气路管道(1)上装有一个压力检测开关(2)，该压力检测开关(2)的检测信号输出端同PC机的信号输入端连接；由所述PC机控制的通断电磁阀(5)的两端口分别同总气路管道(1)和中泻式三位五通换向阀(6)的气源进气端口相接；每个气缸(7)前装有一个ASP控制阀(8)，所述三位五通换向阀(6)的两出口分别分两路，一路相互串接在ASP控制阀的对方先导进气口上，另一路接ASP控制阀(8)的进气口。
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