[实用新型]一种新型靶管旋转磁控溅射圆柱靶

摘要

本实用新型提供一种新型靶管旋转磁控溅射圆柱靶，包括靶头部分和靶体部分；所述靶头部分包括：空心轴、靶头导水管、套接于空心转轴前端的分水器；所述靶体部分包括：与空心轴螺接的管状靶材，与靶头导水管挂接的磁轴；其特征是：所述空心轴是阶梯状空心的轴，所述大齿轮与空心轴通过螺钉固定在一起，所述磁轴包括导水管、导水管外圈套装的导磁体和磁铁；此装置采用管状靶材，中间通水冷却，并进行旋转。管内安装钕铁硼磁轴。磁铁的排布方式为导磁体的两端要和外圈磁场联接起来，形成封闭的磁场。本装置密封水，密封真空，不漏水，可以抗磁和防止生锈，靶材利用率高。

主权项

一种新型靶管旋转磁控溅射圆柱靶，包括靶头部分和靶体部分；所述靶头部分包括：空心轴、靶头导水管、上座板、下座板、套接于空心转轴前端的分水器，盖在分水器前端的分水器压盖、固定于上座板一侧与分水器并排的感应式电动机、固定连接感应式电动机转轴上的小齿轮，与小齿轮啮合的大齿轮；所述靶体部分包括：与空心轴螺接的靶材、靶材内部与靶头导水管螺接的磁轴；其特征是：所述空心轴是阶梯状空心的轴，所述大齿轮与空心轴通过螺钉固定在一起，所述磁轴包括导水管、导水管外圈套装的导磁体和磁铁。