[实用新型]用于单、双面镀膜模式切换的过渡装置无效
申请号: | 200920261863.9 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN201614408U | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 田晓智 | 申请(专利权)人: | 田晓智 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可以实现一次镀膜的过程中任意选择镀膜面的单、双面镀膜模式切换的过渡装置,它包括固定安装在旋转轴上的底板和基片架轨道,所述旋转轴由旋转驱动电机驱动,所述底板上固定安装有承载基片架轨道的平移导轨,所述平移导轨与基片架轨道相互垂直设置,所述基片架轨道通过丝杆装置可在平移导轨上前后移动。该方案使得只要在可编程序控制器中设置不同的工作模式,便可以方便的切换,从而完成不同功能产品的生产任务,节约生产线的运行成本,大大提高的产品的合格率。 | ||
搜索关键词: | 用于 双面 镀膜 模式 切换 过渡 装置 | ||
【主权项】:
一种用于单、双面镀膜模式切换的过渡装置,包括固定安装在旋转轴(6)上的底板(1)和基片架轨道(11),所述旋转轴由旋转驱动电机(5)驱动,其特征在于:所述底板上固定安装有承载基片架轨道(11)的平移导轨(9),所述平移导轨与基片架轨道相互垂直设置,所述基片架轨道通过丝杆装置可在平移导轨上前后移动。
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