[实用新型]用于真空镀膜的水平方向公自转机构无效
| 申请号： | 200920264864.9 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN201581127U | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 卫红;刘志宇;曹一鸣;黄涌;王小辉 | 申请（专利权）人： | 广州市光机电技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄磊 |
| 地址： | 510663 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构，包括公转传动组件和自转传动组件；公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架；自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮，顶端齿轮与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。本实用新型只需利用真空镀膜机的动力源就能在水平面方向同时实现至少一个立体物的公自转运动，其构造简洁紧凑，节约成本，运行精确可靠，除了能很好地运用于真空镀膜技术领域，也可以运用于其它相近的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 水平 方向 自转 机构 | ||
【主权项】：
用于真空镀膜的水平方向公自转机构，其特征在于，包括公转传动组件和自转传动组件；所述公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架；所述自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮，顶端齿轮与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。
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