[实用新型]三氯氢硅合成气气固分离装置有效

专利信息
申请号: 200920272273.6 申请日: 2009-11-20
公开(公告)号: CN201592035U 公开(公告)日: 2010-09-29
发明(设计)人: 唐前正;安洪松;李钊;郭勇;赵伯君 申请(专利权)人: 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司
主分类号: B01D46/24 分类号: B01D46/24
代理公司: 成都虹桥专利事务所 51124 代理人: 刘世平
地址: 614000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于分离硅粉颗粒的三氯氢硅合成气气固分离装置,可过滤粒径小于1μm的硅粉颗粒。该三氯氢硅合成气气固分离装置,包括分离容器以及设置在分离容器容腔内的滤芯,在分离容器的壳体上设置有与其容腔相通的合成气入口以及合成气出口,所述滤芯采用活性碳纤维毡制作。由于活性碳纤维毡具有良好的吸附性能,能够较好的除去1μm以下的硅粉颗粒,且活性炭纤维毡价格便宜,在很好过滤1μm以下的硅粉颗粒的同时,也可使滤芯的更换成本降低,尤其适合在分离硅粉颗粒的装置上推广使用。
搜索关键词: 三氯氢硅 合成气 分离 装置
【主权项】:
三氯氢硅合成气气固分离装置,包括分离容器以及设置在分离容器容腔内的滤芯(8),在分离容器的壳体上设置有与其容腔相通的合成气入口(1)以及合成气出口(6),其特征是:所述滤芯(8)采用活性炭纤维毡制作。
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