[实用新型]垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器无效
申请号: | 200920274177.5 | 申请日: | 2009-12-29 |
公开(公告)号: | CN201588005U | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 屠海令;苏小平;张峰燚;丁国强;杨海;黎建明 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B35/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 100088*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器,它包括:石墨套筒、位于石墨套筒内的上加热器、下加热器,石墨套筒内上加热器与固定在上炉盖板上的石墨电极相连,上加热器以氮化硼与石墨套筒连接;或上加热器以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接;下加热器装在石墨套筒内,以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接,石墨套筒以螺丝固定于上炉盖板上。本实用新型的优点:悬挂式侧加热系统,可以整体随炉盖上移后,整体拆卸,不需拆卸加热系统外的绝热层,故给设备维护和装料、取料带来了很大的方便,采用长板状电极,在侧加热系统外侧形成一完整的石墨圆筒,石墨圆筒可以吸收再辐射、反射加热器的热量,这样不仅提高了热能的利用效率,而且使得热场具有较好的对称性和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 垂直 梯度 凝固 晶体生长 炉中两 段式 加热器 | ||
【主权项】:
垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器,其特征在于:它包括:石墨套筒、位于石墨套筒内的上加热器、下加热器,石墨套筒内上加热器与固定在上炉盖板上的石墨电极相连,上加热器以氮化硼与石墨套筒连接,下加热器装在石墨套筒内,以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接,石墨套筒以螺丝固定于上炉盖板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司,未经北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200920274177.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种太阳能电子秤
- 下一篇:蛙式滑板车同步连杆机构