[实用新型]垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器无效

专利信息
申请号: 200920274177.5 申请日: 2009-12-29
公开(公告)号: CN201588005U 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 屠海令;苏小平;张峰燚;丁国强;杨海;黎建明 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B35/00
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 郭佩兰
地址: 100088*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器,它包括:石墨套筒、位于石墨套筒内的上加热器、下加热器,石墨套筒内上加热器与固定在上炉盖板上的石墨电极相连,上加热器以氮化硼与石墨套筒连接;或上加热器以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接;下加热器装在石墨套筒内,以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接,石墨套筒以螺丝固定于上炉盖板上。本实用新型的优点:悬挂式侧加热系统,可以整体随炉盖上移后,整体拆卸,不需拆卸加热系统外的绝热层,故给设备维护和装料、取料带来了很大的方便,采用长板状电极,在侧加热系统外侧形成一完整的石墨圆筒,石墨圆筒可以吸收再辐射、反射加热器的热量,这样不仅提高了热能的利用效率,而且使得热场具有较好的对称性和稳定性。
搜索关键词: 垂直 梯度 凝固 晶体生长 炉中两 段式 加热器
【主权项】:
垂直梯度凝固晶体生长炉中两段式侧加热器,其特征在于:它包括:石墨套筒、位于石墨套筒内的上加热器、下加热器,石墨套筒内上加热器与固定在上炉盖板上的石墨电极相连,上加热器以氮化硼与石墨套筒连接,下加热器装在石墨套筒内,以石墨块支撑,石墨套筒与固定在上炉盖板上的电极相连接,石墨套筒以螺丝固定于上炉盖板上。
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