[实用新型]电感耦合等离子体光源功率控制装置无效
| 申请号： | 200920278442.7 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN201629893U | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杜江;吴天彪;周志恒;李毅德;张德元 | 申请（专利权）人： | 地质矿产部北京地质仪器厂 |
| 主分类号： | H05B41/282 | 分类号： | H05B41/282;H05B41/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电感耦合等离子体光源功率控制装置，设有依序电连接的压控晶体振荡器、功率放大器和功率分配器，该功率分配器的输出端连接四个功率模块单元，该四个功率模块单元的输出端与一个功率合成器连接，该功率合成器的输出端与定向耦合器的输入端连接，定向耦合器的输出端与功率负载部件连接；定向耦合器设有一个输出端与一个增益控制单元的输入端连接，增益控制单元内有可与定向耦合器送入的信号进行比较、放大处理的功率设定装置，增益控制单元与压控晶体振荡器控制连接。本实用新型适用于元素和同位素分析检测的电感耦合等离子体即ICP光源的功率稳定控制，结构完善，体积小，输入电压低，控制灵活精确，功率强度和稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 光源 功率 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体光源功率控制装置，设有依序电连接的压控晶体振荡器、功率放大器和功率分配器，该功率分配器的输出端连接四个功率模块单元：功率模块单元1、功率模块单元2、功率模块单元3、功率模块单元4，该四个功率模块单元的输出端与一个功率合成器连接，该功率合成器的输出端与定向耦合器的输入端连接，定向耦合器的输出端与功率负载部件连接；所述定向耦合器设有一个输出端与一个增益控制单元的输入端连接，该增益控制单元内有可与定向耦合器送入的信号进行比较、放大处理的功率设定装置，该增益控制单元与所述压控晶体振荡器控制连接。
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