[实用新型]一种节能型多晶硅铸锭炉的热场结构

摘要

本实用新型涉及一种节能型多晶硅铸锭炉的热场结构。它包括上炉体和下炉体，上炉体内设有带吊杆的隔热笼和上保温板，下炉体内设有由支柱支撑的下保温板和工作台，工作台上放置坩埚，坩埚上设置有盖板，盖板上方具有连接于上保温板上的顶加热器，坩埚有紧贴的内层石英坩埚和外层石墨坩埚，石墨坩埚周围有连接于上保温板上的侧加热器，工作台与隔热笼之间设有热场分割条，热场分割条通过挂钩器固定于石墨坩埚的侧壁上。隔热笼能够有效维持内部的高温环境，减少热量散失；热场分割条的设置使得热场分为上部高温区和下部低温区，有效减少了高温区的体积，能耗可降低近20％；工作台四周设置保温条，使隔热笼内保持均匀稳定且垂直的温度梯度。

主权项

一种节能型多晶硅铸锭炉的热场结构，包括上炉体(2)和下炉体(6)，上炉体(2)内设置有带吊杆(1)的隔热笼(3)和上保温板(18)，下炉体(6)内设置有由支柱(8)支撑的下保温板(9)，同时支柱(8)并支撑隔热笼(3)内的工作台(10)，工作台(10)上放置坩埚，其特征是：坩埚上设置有盖板(17)，盖板(17)上方具有连接于上保温板(18)上的顶加热器(19)，坩埚具有紧贴的内外两层，内层为石英坩埚(4)，外层为石墨坩埚(15)，石墨坩埚(15)周围具有连接于上保温板(18)上的侧加热器(13)，工作台(10)与隔热笼(3)之间间隔均匀设置有热场分割条(5)，热场分割条(5)通过挂钩器(14)固定于石墨坩埚(15)的侧壁上。