[实用新型]一种用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置有效
申请号: | 200920282781.2 | 申请日: | 2009-12-31 |
公开(公告)号: | CN201665729U | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 钟真武;陈涵斌;陈文龙 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/24 | 分类号: | C30B15/24 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置,主要包含用于容纳熔融液态硅的坩埚、用于连续向坩埚中加入液态硅的加料器和加料管、位于坩埚内的模具以及与模具顶端连接的籽晶提拉装置,其特征在于所述模具具有内部间隙。利用液态硅虹吸原理在模具中形成液态硅膜,将籽晶插入模具间隙并提拉制得圆柱或圆弧形以及各种异型曲面薄壳状多晶硅。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 拉制 具有 曲面 形状 硅薄壳 装置 | ||
【主权项】:
一种用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置,其特征在于它包括熔融硅坩埚(1)、液态硅加料器(2)、液态硅加料管(3)、具有内部间隙的模具(4)、高纯硅籽晶(5)、籽晶提拉装置(6)以及密封炉体(7);液态硅加料器(2)与熔融硅坩埚(1)通过液态硅加料管(3)连接,熔融硅坩埚(1)中设有模具(4),模具(4)上方,对应间隙的位置设有高纯硅籽晶(5),高纯硅籽晶(5)固定在籽晶提拉装置(6)下端。
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