[实用新型]单晶炉用石墨坩埚无效
申请号: | 200920284030.4 | 申请日: | 2009-12-10 |
公开(公告)号: | CN201560248U | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 任明炜 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 212013 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种适用于大直径硅单晶棒生产的单晶炉用石墨坩埚,由圆筒状的坩埚本体构成,坩埚本体由两瓣或三瓣块体组成,坩埚本体外表面具有间隔均匀且高度相同的小凸台。通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量、快速加热的目的。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用石墨坩埚,由圆筒状的坩埚本体(3)构成,其特征是:坩埚本体(3)由两瓣或三瓣块体(1)组成,坩埚本体(3)外表面具有间隔均匀且高度相同的小凸台(4)。
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