[实用新型]硅片切割专用周转粘接台无效
| 申请号： | 200920291113.6 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN201559261U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵岳金;魏国华 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213213 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片切割专用周转粘接台，在顶板上可拆御地设有周转板，其截面形状为中空的“工”字形，在其上表面设有网纹槽，两侧面设有开口槽，在周转板的下端两侧设有固定耳板，在空腔中设有加强筋。由于周转板为抗变形结构，在周转板的上表面均匀地设有网纹槽，便于玻璃板与台面之间可靠粘接，周转板设计成中空且带有加强筋的抗变形结构，既能大幅度减轻重量，又能提高在交替高温变条件下的抗翘曲变形能力，这种周转粘接台能满足硅片切割工艺中的高温除胶工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 专用 周转 粘接台 | ||
【主权项】：
一种硅片切割专用周转粘接台，它包括机架(1)、顶板(2)，顶板(2)固定在机架(1)上，其特征是：在顶板(2)上可拆御地固定有周转板(3)，所述周转板(3)的截面形状为中空的“工”字形，在周转板(3)的上表面设有均匀分布的网纹槽(31)，两侧面设有便于固定螺栓装御的开口槽(32)，在周转板(3)的下端两侧设有固定耳板(33)，在固定耳板(33)上设有安装孔(34)，安装孔(34)的中心轴线距开口槽(32)的内边(36)的距离大于固定螺栓的最小旋紧空间尺寸，在空腔(35)中设有加强筋(37)。
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