[实用新型]一种直拉单晶炉有效
| 申请号： | 200920313163.X | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN201634792U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 周俭 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 曲艳 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种直拉单晶炉，包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、保温层、炉壁，在石墨坩埚和石英坩埚之间加垫一层石墨纸，将石墨坩埚和石英坩埚隔离开，这样能够减少在单晶硅体生长过程中所产生的一氧化硅和石英坩埚直接对石墨坩埚的侵蚀，同时，用石墨纸可以避免生长过程中的混合气体从石墨坩埚各瓣的接缝处穿过，避免一氧化硅对石墨坩埚各瓣接缝处的侵蚀，使石墨坩埚的寿命提高一至二倍左右，大幅度降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
一种直拉单晶炉，包括石墨坩埚(1)、石英坩埚(2)、加热器(4)、保温层(5)、炉壁(6)，其特征在于：在石墨坩埚(1)和石英坩埚(2)之间加垫一层石墨纸(3)。
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