[实用新型]圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置有效
| 申请号： | 200920350675.3 | 申请日： | 2009-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201600443U | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 丁照崇;董亭义;范亮;蒋宇晖;万小勇 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01R33/10 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于PTF检测设备领域，具体涉及一种圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置。其结构主要包括：做为磁源的马蹄形永久磁铁，既能平移又能旋转的样品台，与马蹄形永久磁铁位置相对固定且能竖直移动的霍尔探头/高斯计，控制样品台旋转及进行PTF数据存储处理的个人计算机。在检测过程中，圆形铁磁性靶材固定在样品台上，通过样品台平移，可使霍尔探头定位在圆形铁磁性靶材任一圆周上，再经样品台旋转，即能够采集到整个圆周上各点的PTF值。因此，采用该装置，可采集到圆形铁磁性靶材多个圆周上的PTF值，当圆周个数增加到一定程度，即可近似为对整个铁磁性靶材PTF进行面扫描检测，全面检测靶材缺陷异常及评价靶材PTF均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 铁磁性 靶材多 圆周 ptf 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置，其特征在于，在第一层平台长方形厚板底座(101)上固定两条平行导轨(103)、位于两条平行导轨(103)的中间的马蹄形永久磁铁(102)、位于两条平行导轨(103)外且与平行导轨平行布置的水平数显千分尺(105)、位于长方形厚板底座(101)一端的竖直数显千分尺(104)、与两条平行导轨(103)配合的手动平移齿轮(106)、以及与手动平移齿轮(106)连接的摇柄(107)；在两条平行导轨(103)上方设置第二层平台圆盘(201)，在圆盘(201)的边缘圆周上间隔交叉固定多个限位轴承(204)和滚动轴承(205)、以及步进电机(202)和蜗杆(203)；在滚动轴承(205)上布置第三层平台样品台(301)，样品台(301)的外圆涡轮与蜗杆(203)咬合；在马蹄形永久磁铁(102)的正上方、第三层平台样品台(301)的上方设置与个人计算机连接的霍尔探头/高斯计(109)，马蹄形永久磁铁(102)与霍尔探头/高斯计(109)的相对位置在PTF测试中保持不变。
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