[发明专利]对针孔的占有比例进行调节的溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 200980000568.0 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101743339A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 松前和男 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C04B35/457;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄丽娟;朱梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种即使导入较高的输入电力也能减少溅射时产生的电弧，并且能有效地防止溅射靶自身破裂的溅射靶。本发明的溅射靶是通过粉末冶金方法制造的板状溅射靶，其特征在于，存在于该溅射靶内的针孔所占有的比例，在该溅射靶内的下表面一侧附近比上表面一侧附近更高。 | ||
| 搜索关键词： | 针孔 占有 比例 进行 调节 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，是通过粉末冶金方法制造的板状的溅射靶，其特征在于，存在于该溅射靶内的针孔所占有的比例，在该溅射靶内的下表面一侧附近比上表面一侧附近更高。
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