[发明专利]载置台构造以及处理装置

摘要

本发明提供载置台构造以及处理装置，能防止对载置台产生大的热应力，防止该载置台自身破损，并且能抑制防止腐蚀用的吹扫气体的供给量。本发明涉及设置在能够排出内部的气体的处理容器(22)内，用于载置被处理体(W)的载置台构造(54)。该载置台构造(54)具备：载置被处理体(W)，由电介质构成的载置台(58)；设于载置台(58)，加热载置于载置台(58)的被处理体(W)的加热单元(64)；由电介质构成的多个保护支柱管(60)，它们以相对处理容器(22)的底部(44)竖立的方式设置，上端部与载置台(58)的下表面接合来支承载置台(58)。另外，在各保护支柱管(60)内插通有延伸到载置台的功能棒体(62)。

主权项

一种载置台构造，其设置在能够排出内部气体的处理容器内，用于载置被处理体，其特征在于，具备：载置台，其载置上述被处理体，且由电介质构成；加热单元，其设于上述载置台，对载置于上述载置台的上述被处理体进行加热；由电介质构成的多个保护支柱管，它们以相对于上述处理容器的底部竖立的方式设置，上端部与上述载置台的下表面接合来支承上述载置台；功能棒体，其插在上述各保护支柱管内并延伸到上述载置台。