[发明专利]研磨浆料、其制造方法、研磨方法及磁盘用玻璃基板的制造方法无效
申请号: | 200980101730.8 | 申请日: | 2009-09-16 |
公开(公告)号: | CN101909816A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 酒井智弘;别府义久;朝长浩之 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;C03C19/00;C09K3/14;G11B5/84 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘多益;胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供在采用氧化铈结晶微粒或氧化铈-氧化锆固溶体结晶微粒时也可以高速地研磨玻璃基板主表面的研磨浆料的制造方法。一种pH为2~7的研磨浆料的制造方法,其特征在于,制成包含由氧化铈粒子或氧化铈-氧化锆固溶体粒子形成的研磨颗粒、由2-吡啶羧酸或谷氨酸形成的分散剂、水的研磨浆料原液,以研磨颗粒的微晶径的减少比例在10%以下的条件对该研磨浆料原液的研磨颗粒进行分散,然后加水,再添加与所述分散剂相同的材料。 | ||
搜索关键词: | 研磨 浆料 制造 方法 磁盘 玻璃 | ||
【主权项】:
一种pH为2~7的研磨浆料的制造方法,其特征在于,制成包含由氧化铈粒子或氧化铈 氧化锆固溶体粒子形成的研磨颗粒、由2 吡啶羧酸或谷氨酸形成的分散剂、水的研磨浆料原液,以研磨颗粒的微晶径的减少比例在10%以下的条件对该研磨浆料原液的研磨颗粒进行分散,然后加水,再添加与所述分散剂相同的材料。
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