[发明专利]用于铜或铜合金的蚀刻液、蚀刻前处理液及蚀刻方法有效
| 申请号： | 200980102252.2 | 申请日： | 2009-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101910468A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 加藤真;丰田裕二;中川邦弘;石田麻里子;金田安生 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 庞立志;高旭轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供以水作为主要成分，含有(1)1～20质量％的氯化铁(III)和(2)相对于氯化铁为5～100质量％的草酸的蚀刻液，以及使用上述蚀刻液的蚀刻方法。上述蚀刻方法中，用含有选自溶解铜或铜合金的成分和酸的至少一种成分的水溶液进行前处理，由此可以实现良好的收率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 铜合金 蚀刻 处理 方法 | ||
【主权项】：
用于铜或铜合金的蚀刻液，其特征在于，以水作为主要成分，含有(1)1～20质量％的氯化铁(III)和(2)相对于氯化铁为5～100质量％的草酸。
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