[发明专利]使用多台摄像机的衬底检查有效
| 申请号： | 200980102439.2 | 申请日： | 2009-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101910822A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 奥弗·萨菲尔;伊斯雷尔·沙皮拉;雅科夫·戴维迪 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 史新宏 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 检查装置包括包含多台摄像机的成像组件，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中，并被配置成捕获样品的各自图像。运动组件被配置成移动所述成像组件和所述样品的至少一个，以便使所述成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描所述样品。图像处理器耦合成接收和处理所述摄像机捕获的图像，以便以比所述位置公差优良的位置精度定位所述样品中的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 摄像机 衬底 检查 | ||
【主权项】：
一种用于检查的装置，包含：包含多台摄像机的成像组件，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中，并被配置成捕获样品的各自图像；运动组件，被配置成移动所述成像组件和所述样品的至少一个，以便使所述成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描所述样品；以及图像处理器，耦合成接收和处理所述摄像机捕获的图像，以便以比所述位置公差优良的位置精度定位所述样品中的缺陷。
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