[发明专利]微机械谐振器有效
| 申请号： | 200980102639.8 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101919159A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 维耶勒·卡亚卡里 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种微机械谐振器，其具有可活动的块结构(4)和弹簧结构(3)、(23～24)、(27～30)；所述可活动的块结构(4)由连接在一起的至少两个电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)构成，且所述弹簧结构(3)、(23～24)、(27～30)由一端固定而另一端连接到所述块结构上的至少一个弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)构成，其特征在于，所述弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于所述电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使得谐振频率变化相对于尺寸制备差异的灵敏度d(Δω0/ω0)/dδ接近于零。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于VTI技术有限公司，未经VTI技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980102639.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
