[发明专利]感光性树脂层压体有效
| 申请号： | 200980102862.2 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101952778A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 小谷雄三 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂层压体，其对于多晶硅、非晶硅、铜、钼、铬、钨等各种基材具有优异的分辨率和密合性，具有良好的显影性，蚀刻性和剥离性优异。本发明的感光性树脂层压体的特征在于，其为至少依次层压：支撑层；选自下述(a)～(c)∶(a)脱模层、(b)碱可溶性树脂层、(c)水溶性树脂层所示的层中的至少一个层；由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂20～90质量％、光产酸剂0.01～5质量％、具有通过酸的作用而交联的基团的化合物1～40质量％、增塑剂1～40质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层压 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂层压体，其特征在于，其为至少依次层压：支撑层；选自下述(a)～(c)：(a)脱模层、(b)碱可溶性树脂层、(c)水溶性树脂层所示的层中的至少一个层；由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，其中，该感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂20～90质量％、光产酸剂0.01～5质量％、具有通过酸的作用而交联的基团的化合物1～40质量％、增塑剂1～40质量％。
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