[发明专利]用于借助激光处理可运动衬底的方法和设备有效

专利信息
申请号: 200980102981.8 申请日: 2009-01-22
公开(公告)号: CN101925435A 公开(公告)日: 2010-12-22
发明(设计)人: J·I·M·科本 申请(专利权)人: IAI工业系统有限责任公司
主分类号: B23K26/12 分类号: B23K26/12;B23K26/14
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 张涛
地址: 荷兰费*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明涉及一种用于借助激光处理可运动衬底的方法,其中该处理导致释放从衬底分离的材料,其中在衬底的处理期间,在衬底的被激光束射到的一侧上施加的压力高于在衬底的另一侧上的压力,并且本发明涉及一种用于执行这种处理的设备,其中该设备包括:用于导引衬底的导引装置;和激光处理装置,其适于将激光光斑投射到衬底上,所述激光光斑在激光处理区中处理衬底,并且该设备包括用于在衬底的被激光束射到的一侧上产生比衬底的另一侧上的压力更高的压力的装置。
搜索关键词: 用于 借助 激光 处理 运动 衬底 方法 设备
【主权项】:
一种用于借助激光处理可运动衬底的方法,其中该处理导致释放从所述衬底分离的材料,其特征在于,在所述衬底的处理期间,所述衬底的被激光束射到一侧上施加的压力高于在所述衬底的另一侧上的压力。
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