[发明专利]具有垂直集成的电子器件和晶片级密封式封装的X-Y轴双质量块音叉陀螺仪

摘要

一种具有横向地设置在X-Y平面内且间接地连接至框架的两个质量块的角速度传感器。通过联动装置将这两个质量块联结在一起以便它们必定沿Z轴在相反方向上移动。可以通过将这两个质量块驱使至Z方向的反相振荡并测量由此施加至框架的角振荡振幅来感测关于Y轴的传感器角速度。在优选实施方式中，从体型MEMS陀螺仪晶片、罩体晶片和参考晶片制备该角速度传感器。在另一优选实施方式中，该晶片的组件提供质量块与周围环境之间的密封屏障。

主权项

一种用于测量传感器平面内的角速度的传感器，所述传感器包括：a)感测子组件，其包括：i)与所述平面平行的基本平面的框架；ii)设置在所述平面内的第一质量块；iii)与所述第一质量块横向地设置在所述平面内的第二质量块；以及iv)在所述框架内且与所述框架连接的联动装置，其中，所述联动装置与所述第一质量块和所述第二质量块连接，并且其中所述联动装置限制所述第一质量块和所述第二质量块在与所述平面垂直的相反方向上移动；其中，所述联动装置还包括：与所述框架连接并且与所述第一质量块和所述第二质量块连接且在所述第一质量块和所述第二质量块之间的中心板，其中，所述中心板关于中心转动轴可转动；通过基底的驱动式固定器部分与所述基底连接并且与所述第一质量块连接的第一边缘板，其中，所述第一边缘板关于第一转动轴可转动；以及通过所述基底的驱动式固定器部分与所述基底连接并且与所述第二质量块连接的第二边缘板，其中，所述第二边缘板关于第二转动轴可转动；其中，所述中心转动轴、所述第一转动轴和所述第二转动轴相互平行且还平行于所述传感器平面；b)致动器，其用于驱使所述子组件的第一部分以一驱动频率振荡；以及c)变换器，其用于感测所述子组件的第二部分响应于所述角速度的运动。