[发明专利]缺陷检测及响应

摘要

为提高检查吞吐量，可以以一恒定速度在试样上移动红外摄像装置的视场。在该移动的整个过程中，可以向所述试样提供调制并且使用所述红外摄像装置获取红外图像。移动所述视场、提供所述调制以及获取所述红外图像可以是同步的。所述红外图像可以被滤波以生成时间延迟锁相热成像，从而提供缺陷识别。该滤波操作可以决定所述红外摄像装置在扫描方向上的像素数。对于光学调制的情况，可以在移动的整个过程中为所述视场提供暗场区域，由此在滤波期间提供改善的信噪比。局部的缺陷可以由被集成到所述检测系统的激光器修复或由墨水标记以在生产线上稍后修复。

主权项

一种用于在试样上进行时间延迟锁相热成像的系统，所述系统包括：红外摄像装置，所述红外摄像装置用于获取所述试样的图像，扫描部件，所述扫描部件用于以恒定速度在所述试样上移动所述红外摄像装置的视场，调制部件，所述调制部件用于在移动所述视场时对所述试样提供调制，时钟源，所述时钟源用于同步所述图像的获取、所述视场的移动以及所述调制的提供，图像处理器，所述图像处理器用于接收所述获取的图像并生成时间延迟锁相热成像图像，以提供缺陷的检测，以及仪器装置，所述仪器装置进行修复所述缺陷和标记所述缺陷的位置以进行稍后修复中的至少一项。