[发明专利]放射线敏感性组合物和聚合物以及单体无效
| 申请号： | 200980107243.2 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101959908A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 丸山研;清水大辅 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/26 | 分类号： | C08F20/26;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的目的是提供放射线敏感性组合物等，该组合物能够形成化学增幅型正型抗蚀剂膜，该膜能有效感应活性光线或放射线、纳米边缘粗糙度和灵敏度优异、可高精度且稳定地形成微细图案。本发明的组合物包含含酸解离性基团的聚合物(A)、和酸产生剂(B)，所述含酸解离性基团的聚合物(A)为碱不溶性或难溶性且通过酸的作用成为碱易溶性，作为聚合物(A)，包含含有式(1)的重复单元且以GPC测定的重均分子量为3000～100000的聚合物。式(1)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示取代或无取代的碳原子数为1～20的直链状或支链状的1价烷基、碳原子数为3～25的脂环式基团或碳原子数为6～22的芳基，X表示取代或无取代的亚甲基或碳原子数2～25的取代或无取代的直链状、支链状或脂环式的烃基。 |
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| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 组合 聚合物 以及 单体 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物，其特征在于，含有下述通式(1)表示的重复单元，且以凝胶渗透色谱法GPC测定的按聚苯乙烯换算的重均分子量为3000～100000，![]()
通式(1)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示取代或无取代的碳原子数为1～20的直链状或支链状的1价烷基、碳原子数为3～25的脂环式基团、或者碳原子数为6～22的芳基，X表示取代或无取代的亚甲基、或者碳原子数为2～25的取代或无取代的直链状、支链状或脂环式的烃基。
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