[发明专利]聚合物的制造方法无效
| 申请号： | 200980107574.6 | 申请日： | 2009-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101965370A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 奥村有道 | 申请（专利权）人： | 大赛璐化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08F6/10 | 分类号： | C08F6/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种聚合物的制造方法，该方法通过使单体在溶剂中反应、并使所得聚合物溶液与不良溶剂接触，以使聚合物析出，从而来制造除去杂质的聚合物，其中，在向所得聚合物溶液中添加溶剂进行稀释后，再使该聚合物溶液与不良溶剂接触以析出沉淀。用于聚合的溶剂在20℃下的粘度优选在1mPa·s以上。另外，用于稀释的溶剂在20℃下的粘度优选小于1mPa·s。根据本发明，可以高效且品质再现性良好地制造可用于抗蚀剂聚合物、多层抗蚀剂的下层膜聚合物以及防反射膜聚合物、液体浸渍表面涂层用聚合物等、且残留单体少的聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种聚合物的制造方法，该方法通过使单体在溶剂中反应、并使所得聚合物溶液与不良溶剂接触，以使聚合物析出，从而制成除去杂质的聚合物，其中，在向所得聚合物溶液中添加溶剂进行稀释后，再使该溶液与不良溶剂接触以使其沉淀。
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