[发明专利]基于废气阻抗的端点检测

摘要

本发明公开了一种测量与排气管相关的废气的阻抗的系统。该系统包括一远程等离子体电源、一工艺腔、一排气管、一电极组件、一射频驱动电源和一检测器。远程电极电源连接工艺腔，用于向工艺腔提供工艺腔清洁气体。排气管也与工艺腔相连，工艺腔清洁废气通过排气管从工艺腔中排出。电极组件位于排气管内，暴露在从工艺腔排出的废气中。电极组件连接射频驱动电源，接收来自射频驱动电源的射频信号。施加于电极组件的射频信号引发电极组件及排气管间的等离子体放电。与电极组件相连的检测器检测工艺腔的工艺腔清洁过程的端点。端点可根据与电极组件和排气管之间等离子体放电相关的阻抗变化而检测到。

主权项

一种用于测量废气阻抗的系统，其特征在于包括：一反应物输送系统；一与反应物输送系统连接的工艺腔，反应物输送系统用于提供反应物，反应物用于使工艺腔内的薄膜挥发；一排气管，挥发的薄膜废气通过排气管从工艺腔中排出；一电极组件，位于排气管内，电极暴露于从工艺腔排出的挥发的薄膜废气中；一与电极组件相连接的电离能输送网路，电离能输送网路用于将电离能信号施加于电极组件，其中施加于电极组件的电离能信号引发电极组件与排气管间的等离子体放电；以及一与电极组件相连接的检测器，检测器用于检测正在工艺腔内进行的一工艺过程的端点。