[发明专利]微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置

摘要

微波导入机构(43)包括：形成为筒状的主体容器(50)；同轴地设置在主体容器(50)内、在与主体容器(50)之间形成微波传送通路(53)的内侧导体(52)；进行阻抗调整的调谐器(44)；和具有向腔室内放射从微波传送通路(53)传送来的微波的天线(51)的天线部(45)，调谐器(44)包括：一对由电介质构成的芯块(58)、使这些芯块(58)移动的致动器(59)和控制器(60)，控制器(60)进行控制，使一对芯块(58)同时在1/2波长的长度范围内移动，并且使芯块(58)的一个芯块(58)相对于另一个芯块(58)在1/4波长的长度范围内移动。

主权项

一种微波导入机构，该微波导入机构是用于在腔室内形成微波等离子体的微波等离子体源所使用的微波导入机构，其特征在于，该微波导入机构包括：形成为筒状的主体容器；内侧导体，该内侧导体同轴地设置在所述主体容器内，在该内侧导体与所述主体容器之间形成微波传送通路，该内侧导体形成为筒状或者棒状；调谐器；该调谐器进行所述微波传送通路中的阻抗调整；和天线部，该天线部具有向所述腔室内放射从所述微波传送通路传送来的微波的微波放射天线，所述调谐器包括能够沿着所述内侧导体移动的一对由电介质构成的芯块、使这些芯块移动的致动器和控制芯块的移动的控制器，所述控制器对所述致动器进行控制，使得所述一对芯块在被保持在相同间隔的状态下，在微波的1/2波长的长度范围内进行移动，并且使所述一对芯块中的任一个芯块相对于另一个芯块在1/4波长的长度范围内进行移动。