[发明专利]用来输送扁平的输送物品的、具有至少一个传送带的传送带系统及方法无效
申请号: | 200980109116.6 | 申请日: | 2009-01-26 |
公开(公告)号: | CN101971320A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | J·格热拉克 | 申请(专利权)人: | 约纳斯雷德曼自动化技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 沈英莹 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用来在传送带系统(1)的至少一个传送带(2)上输送扁平的输送物品方法,所述输送物品尤其是基片(3),如硅晶片和太阳能电池,其中所述基片(3)至少循环地在输送过程中被吸附地保持在传送带(2)的传送表面(5)上。为了保证在传送带(2)的基片(3)更好地、防滑且经济地输送,按本发明地沿着传送带(2)的皮带(8)的两个在输送方向上延伸的纵向边缘(7)中的至少一个,在多个相互间隔距离的位置(9)上,借助由流体系统(4)控制的压缩流体(11)、例如压缩空气的引导,分别生成基于伯努利效应的负压,所述基片(3)通过在皮带的纵向边缘上的各个位置(9)上构成的、在大气压力和在相应的位置(9)上生成的负压之间的压力差均匀地、贴紧地保持在具有支承面的传送带(2)的传送表面(5)上。 | ||
搜索关键词: | 用来 输送 扁平 物品 具有 至少 一个 传送带 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种用来在传送带系统的至少一个传送带上输送扁平的输送物品方法,所述输送物品尤其是基片、如硅晶片和太阳能电池,其中所述基片至少循环地在输送过程中被吸附地保持在传送带的传送表面上,其特征在于,沿着传送带的皮带的两个在输送方向上延伸的纵向边缘中的至少一个,在多个相互间隔距离的位置上借助于由流体系统对压缩流体、例如压缩空气进行受控制的引导分别生成基于伯努利效应的负压,并且所述基片通过在皮带的纵向边缘上的各个位置上构成的、在大气压力和在各个位置上生成的负压之间的压力差均匀地贴紧地保持在具有支承面的传送带的传送表面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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