[发明专利]致动器系统、光刻设备以及器件制造方法无效
| 申请号： | 200980109155.6 | 申请日： | 2009-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101971101A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | H·巴特勒 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种致动器系统，其具有第一致动器(XP1)和第二致动器(XP2)，配置成控制光刻设备的光学部件的相对位置。第一致动器(XP1)配置成提供光刻设备的第一部件的安装点和光刻设备的第二部件之间、平行于致动方向的位移。第二致动器(XP2)配置成在与第二致动器(XP2)相关的参考质量(M1)和光刻设备的第一部件的安装点之间提供平行于致动方向的位移。第二致动器(XP2)可以被驱动成使得第二致动器(XP2)与参考质量(M1)之间的位移提高第一致动器(XP1)的表观刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 系统 光刻 设备 以及 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于控制光刻设备内的第一部件相对于光刻设备内的第二部件的位置的致动器系统，包括：第一致动器，配置成提供第一部件的安装点和第二部件之间、沿平行于致动方向的方向的位移，以便控制第一部件相对于第二部件的位置；和第二致动器，配置成在与第二致动器相关的参考质量和光刻设备的第一部件的安装点之间提供位移，其中由第二致动器提供的位移的方向平行于由第一致动器提供的位移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980109155.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：渠道窜货控制方法和系统
- 下一篇：一种解决读卡器读卡失败而导致交易失败的方法
