[发明专利]微细结构体检查方法、微细结构体检查装置和微细结构体检查程序有效
| 申请号： | 200980109275.6 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101978241A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 米仓勋;波木井秀充 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01N23/225;H01J37/22;H01L21/66 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 郭晓东;马少东 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 体检 方法 装置 程序 | ||
【主权项】：
一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。
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