[发明专利]高吞吐量清洁室

摘要

一种晶圆清洁室，包含多个载具臂，所述多个载具臂具有在所述载具臂的相对端之间同心安装的中点，所述多个载具臂进一步具有安装在所述载具臂的相对端的每一个上的相应的晶圆载具。中枢，包括多个同心安装的驱动，所述多个驱动中的每一个耦合于所述多个载具臂中相应的一个载具臂的中点附近。所述多个驱动中的每一个被配置为独立于同心安装的剩余的多个驱动被控制。马达耦合于所述同心安装的驱动并被配置为在包含速度曲线的程序的控制下以旋转方式移动所述耦合的载具臂。至少一个清洁化工品供应头临近所述晶圆载具的路径定位。

主权项

一种衬底载具系统，包含：多个载具臂，每个载具臂具有在其相对端之间的中点，所述多个载具臂进一步具有安装在所述载具臂的每一端的至少一个相应的衬底载具，中枢，包括多个同心安装的驱动，所述多个驱动中的每一个都耦合于所述多个载具臂中相应的一个载具臂的中点附近，并被配置为独立于同心安装的剩余的多个驱动被控制；以及耦合于所述同心安装的驱动中的每一个并被配置为以旋转方式移动所耦合的载具臂的相应的驱动马达。