[发明专利]用于在塑料衬底上沉积阻挡层的方法以及其涂覆装置和层系统有效
| 申请号： | 200980112436.7 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102165089A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 格尔德·霍夫曼;亚历山德拉·L·奎斯诺 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司;比奥菲姆有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 肖善强;南霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在塑料衬底上沉积阻挡层的涂覆装置，所述涂覆装置包括用于沉积包括金属的第一层的第一涂覆台，和用于沉积包括树脂的第二层的第二涂覆台，其中，用于处理所沉积的第一层的处理台设置在所述第一涂覆台和所述第二涂覆台之间，所述处理台包括溅射装置，所述溅射装置用于使沉积沉积材料的一个或多个原子层或者岛。本发明还涉及可以通过上述涂覆装置执行的适当方法和由此产生的层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 塑料 衬底 沉积 阻挡 方法 及其 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种涂覆装置，其用于在塑料衬底上沉积阻挡层，所述涂覆装置包括用于沉积包括金属的第一层的第一涂覆台，和用于沉积包括树脂的第二层的第二涂覆台，其中用于处理所沉积的第一层的处理台设置在所述第一涂覆台和所述第二涂覆台之间，所述处理台包括溅射装置，所述溅射装置用于沉积沉积材料的一个或多个原子层、或者岛。
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