[发明专利]显微镜物镜

摘要

本发明的显微镜物镜(OL)从物体侧依次包括：具有正屈光力的第1透镜组(G1)；第2透镜组(G2)；和具有负屈光力的第3透镜组(G3)。第1透镜组(G1)包括：正透镜成分(L1)，包含具有负屈光力的透镜面；和至少一个以上的具有正屈光力的复合透镜成分(CL11)。第2透镜组(G2)包括：具有衍射光学面(D)的衍射光学元件(GD)，将由不同的光学材料构成的两个衍射元件要素(L6、L7)接合，并在其接合面上形成有衍射栅格槽；和至少一个以上的复合透镜成分(CL21)。第3透镜组(G3)包括至少一个以上的色校正透镜成分(CL31)，且该第3透镜组(G3)的最靠向像侧的透镜面被配置成凹面朝向像侧。

主权项

一种显微镜物镜，其特征在于，从物体侧依次包括：具有正屈光力的第1透镜组；第2透镜组；和具有负屈光力的第3透镜组，上述第1透镜组包括：正透镜成分，位于最靠向物体侧，包含具有负屈光力的透镜面；和至少一个以上的通过合成而具有正屈光力的复合透镜成分，上述第2透镜组包括：具有衍射光学面的衍射光学元件，将由不同的光学材料构成的两个衍射元件要素接合，并在其接合面上形成有衍射栅格槽；和至少一个以上的复合透镜成分，上述第3透镜组包括至少一个以上的色校正透镜成分，且该第3透镜组的最靠向像侧的透镜面被配置成凹面朝向像侧，在设上述第1透镜组中设置的上述正透镜成分的上述具有负屈光力的面的曲率半径为r、该具有负屈光力的面的物体侧的介质相对于d线的折射率为n1、像侧的介质相对于d线的折射率为n2、从上述具有负屈光力的面的顶点到物体为止的光路长度为dR时，满足下式的条件|(n2‑n1)/(r·dR)|≤0.5，在设全系的焦距为f、与在上述衍射光学面经过的最大视角对应的光束的主光线到光轴的高度为h时，满足下式的条件0.1≤|h/f|。