[发明专利]通过弧蒸发制造具有预定结构的金属氧化物层的方法有效
申请号: | 200980114303.3 | 申请日: | 2009-02-06 |
公开(公告)号: | CN102016108B | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | J·拉姆 | 申请(专利权)人: | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/34;C23C14/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 周铁,林森 |
地址: | 瑞士特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种制造由金属和半金属组分的三元和更高价氧化物构成的层的方法,其中这些氧化物的形成温度基本上通过二元(或更高阶)合金靶的组成(基于相图)确定。 | ||
搜索关键词: | 通过 蒸发 制造 具有 预定 结构 金属 氧化物 方法 | ||
【主权项】:
通过弧蒸发来制造包括金属或半金属组分的三元和/或更高阶氧化物的层的方法,特征在于通过选择二元或更高阶合金靶的组成,从而使得具有所选组成的二元或更高阶合金靶的相图在与期望的所述氧化物形成温度相应的温度处显示从完全液相向含固体组分的相的转变,来确定所述氧化物的形成温度。
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