[发明专利]校准非振动式接触电势差测量结果以检测垂直于传感器运动方向的表面变化

摘要

一种利用非振动式接触电势差探头和振动式接触电势差探头确定晶片表面接触电势差的方法和系统。所述方法和系统涉及利用非振动式接触电势差传感器扫描晶片表面，将产生的数据积分并缩放，并向个别数据轨迹应用偏移量，从而将积分并缩放的数据与利用振动式接触电势差传感器获得的测量结果匹配。

主权项

一种确定材料表面接触电势差以表征所述表面的性能的方法，包括步骤：提供材料表面；提供具有传感器探头尖端的接触电势差传感器；相对于彼此扫描所述表面和所述接触电势差传感器；所述传感器探头尖端相对于材料表面横向扫描，产生表示所述传感器探头尖端和材料表面之间接触电势差变化的横向扫描传感器数据；处理所述横向扫描传感器数据，以提供相对接触电势差值；利用振动式接触电势差传感器对所述横向扫描表面的绝对接触电势差进行至少一次测量；以及利用所述绝对接触电势差数据来计算偏移量，所述偏移量增加到所述相对接触电势值中，以产生表示所述传感器探头尖端和所述横向扫描表面上的所有点之间的接触电势差的特征数据，由此来表征所述材料表面的性能。